要想測(cè)量物體整個(gè)區(qū)域的表面情況,，只能用自動(dòng)拼接測(cè)量功能，但耗時(shí)較多,。中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀的自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,，能在樣品表面抽取多個(gè)測(cè)量區(qū)域進(jìn)行測(cè)量，從而對(duì)樣品進(jìn)行評(píng)估分析,。

測(cè)量步驟

1.點(diǎn)擊XY復(fù)位,，使得鏡頭復(fù)位到載物臺(tái)中心

2.將被測(cè)物放置在載物臺(tái)夾具上，被測(cè)物中心大致和載物臺(tái)中心重合,；3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測(cè)量條件,；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋,；5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍,；6.點(diǎn)擊選項(xiàng)圖標(biāo)，確認(rèn)自動(dòng)找條紋上下限無(wú)誤,；7.點(diǎn)擊多區(qū)域測(cè)量圖標(biāo),，可選擇方形和（橢）圓形兩種測(cè)量區(qū)域形狀；9.根據(jù)被測(cè)物形狀和尺寸,，"形狀"欄選擇“橢圓平面",，X和Y方向按需設(shè)置；10.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開(kāi)始"圖標(biāo),，儀器即自動(dòng)完成多個(gè)區(qū)域的對(duì)焦,、找條紋、掃面等操作,。

中圖儀器3d光學(xué)表面輪廓檢測(cè)儀是一款專用于超精密加工領(lǐng)域的光學(xué)檢測(cè)儀器,，其分辨率可達(dá)0.1nm,。以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×,，（0.75×,，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×,，5×,，20×，50×,，100×可選）

XY平臺(tái)：尺寸320×200mm,，行程140×110mm，電動(dòng),、手動(dòng)同時(shí)具備,，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動(dòng)

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測(cè)樣品反射率：0.05%-100

水平調(diào)整：±5°手動(dòng)

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺(tái)階高測(cè)量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點(diǎn)：非接觸式無(wú)損檢測(cè),，一鍵分析、測(cè)量速度快

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋：更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們獲取

光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國(guó)內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),。